赛瑞达公司除了一系列太阳能专用设备之外,也开发了几款LED生产设备,包括LED专用扩散炉和专用合金炉。其LED专用扩散炉和专用合金炉关键件全部采用进口件,具有高可靠性和高抗干扰能力,具有可编程的升、降温功能,以及有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。可存储九条工艺曲线,每条工艺曲线最多有九步,曲线间可以任意链接、重复。另外还具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。赛瑞达可为客户提供斜滚式推拉舟系统,石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统的灵活选择。
上游设备的成功本土化离不开下游外延芯片厂、LED封装厂、模块乃至灯具供应商、后端设备商的配合与支持。据悉,本届秋季中国电子展,汇集了真明丽、深圳市稳亮电子、李洲科技、宁波升谱电子、常州爱立德电子、台湾亿光电子、金台电子等众多大中小型LED企业,以及田中精机、昆山具良、日特机械工程、华胜科技、上海富荣电子等一大批后端生产设备商,并专门开辟了LED照明展区,为产业上下游的互动提供了良好的互动平台,有利于促成他们之间的合作。当然,就像有些专家指出的,MOCVD等关键装备的国产化也是一件体现国家意志的事情,建议国家大力地投入,全面地支持去做这件事,特别要注意工艺与设备的结合,要鼓励外延芯片厂商应用国产设备,同时要给予一定的资助。