应用材料公司日前宣布，推出新的物理气相沉积(PVD)和电浆强化化学气相沉积(PECVD)技术，促使超高画质(UHD)电视及高画素密度屏幕的行动装置迈向新纪元。
这项重大转型技术的关键是新的金属氧化物与低温多晶硅(LTPS)材料，可用来制造更快速、更小巧的薄膜晶体管(TFT)，适用于液晶显示器(LCD)和有机发光二极管(OLED)技术。Applied AKT-PiVot物理气相沉积和Applied AKT-PX电浆强化化学气相沉积薄膜沉积系统为面板业者提供高效能、符合成本效益的途径，带动先进材料的量产。