位置分辨率

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摘要: 分析了高灵敏度光电位置传感器(PSD)的设计和工艺制作过程,给出了器件制作工艺流程。对制作的器件进行了参数测试,测试结果为:响应波长为600～1200n...

光电位置传感器电极灵敏度位置分辨率工艺线性度 SOI 2006-11-25

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