微纳;传感元件;微悬臂梁

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ST 公司的LIS352AX是新型小尺寸低功耗三轴线性加速度计,包括有传感元件和IC接口电路,能向外部提供模拟信号. LIS352AX满刻度量程为±...

LIS352AX 线性加速度计传感元件 IC接口 2009-04-20

引言微悬臂梁是一种高灵敏度的微纳传感元件，可以将微观的物理、化学变化或生物分子反应过程转换成可记录的电学信号，并具有极高的灵敏度。微悬臂梁被广泛地应用于原子...

微纳传感元件微悬臂梁 2007-10-19

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