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吉时利(Keithley)公司正在不断扩大其市场规模,截止到2004年,欧洲、亚洲和北美市场各占其销售额的1/3,而在2005年,该公司计划将其亚洲市场在总销售额中的比重扩大到40%,中国市场大概占其总收入的10%,其高性能测试设备也正在加紧进入中国市场的脚步。
吉时利的2600系列数字源表(System SourceMeter)仪器能降低包括硅和化合物半导体产品在内的众多电子元器件的测试成本。2600系列数字源表由具有高吞吐量的源测量单元(SMU)和可升级的仪器构成,允许在一个系统中无缝集成1至16通道的数字源表仪器。
2600系列数字源表通过吉时利公司特有的嵌入式测试脚本处理器(TSP)提供了较高的测试速率。TSP允许用户编写测试命令序列程序,且无需PC即可执行高速的自动化测试序列,相当于一个独立的子系统。该仪器可以控制1至16个SMU通道的供电、测量、通过/失效(pass/fail)判断、测试序列流程控制、元器件分级筛选以及数据存储等。
该仪器提供了高SMU机架密度(rack density),在单半机尺寸(half-rack)2U高的空间内可放置两通道的数字源表。每条通道提供一台40W、3A四象限工作的精密源测量装置,该装置具有精确的电压、电流回读(readback)和1pA电流分辨率,可配置为精密电压源、电流源、双极性偏置电源、5位半数字多用表、带有测量功能的低频任意波形发生器,以及电子负载等。
除2600系列数字源表之外,吉时利还推出了具有用于半导体生产过程中参数测试的第三代晶圆射频测量功能的选配件。它能提供连续、自动、实时的测试质量监控,在提供优等质量的同时,也获得了高测量产能、低运行成本和易于使用的优良性能。它也是在全球范围内获得验证的参数测量选项,适用于所有200mm和300mm晶圆射频测试系统。 (畅秋)