全球领先的微电子制造表面处理和显微光刻设备供应商FSI国际有限公司（纳斯达克：FSII），日前宣布再次收到POLARIS®显微光刻系统订单，该订单来自一家领先的砷化镓(GaAs)器件代工厂。这一订单代表了GaAs客户数量不断增长的趋势，他们选用POLARIS，缘于该系统的卓越性能加上公司在敏感砷化镓底材处理方面的15年经验。
“随着宽带无线和有线通信市场器件制造商数量的快速增长，我们感受到他们对POLARIS系统兴趣的不断提升，”FSI董事长兼首席执行官Don Mitchell说道。“POLARIS产品的灵活性允许我们的客户在同一系统上处理多种尺寸的GaAs和氮化镓（GaN）底材，而无需更换硬件或软件。这种可同步处理多种晶圆尺寸的能力在不影响工艺性能的同时，将灵活性提高到更高水平。”
预计宽带无线和有线通信器件供应商的订单将有所增长，FSI将重点放在进一步扩展这一重要市场。
FSI POLARIS显微光刻系统可为尺寸在100mm 和300mm之间的晶圆提供附着剂和光阻涂布、烘干、冷却和工艺开发。POLARIS 系统以其庞大的安装量，为包括薄膜磁头、生医设备以及GaAs在内的多种应用和行业提供服务。此外，公司推出的支持服务包括了产品及工艺的提升，从而延长已安装的FSI设备的使用寿命，使全世界客户的资本投资获得更高的回报。