未来LED芯片的价格将会有较大的下降空间,Veeco大中华区总经理王克扬近日表示,Veeco将通过MOCVD良率、工艺和架构改善,使2014年高亮度LED外延的成本同2009年相比降低至少四倍。2009年高亮度LED外延片的成本1美元/平方厘米,2014年将下降至0.2美元/平方厘米。
MOCVD设备的可靠性主要从平均故障间隔时间 (MTBF)、平均清洁间隔时间 (MTBC)、平均修復时间 (MTTR)三个方面考量,同时设备间匹配性和线上工艺控制是量产的关键。Veeco将通过MOCVD良率、工艺和架构的改善将使高亮度LED外延的成本降低至少四倍。