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化学气相沉积锗锑碲化物PCM商业化取得重大进展
ATMI公司(NASDAQ:ATMI)和Ovonyx公司今日宣布,双方在采用化学气相沉积(CVD)工艺商业化生产基于锗锑碲化物的相变存储器(PCM)方面取得...
ATMI
PCM
2010-09-06
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