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国内首台高端LED刻蚀机交付使用
近日,由北方微电子开发的ELEDETM330高密度等离子ICP刻蚀机完成组装调试,正式交付客户使用。ELEDETM330是北方微电子半导体刻蚀技术在LED领...
北方微电子
LED刻蚀机
2010-06-10
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