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　　核心提示：东芝公司开发出了一种基于计算机辅助设计技术（TCAD）的方法，可以减少工艺开发的成本和时间。该方法在投入制造前对工艺窗口进行优化，提高了良率提升的...

TCAD MOSFETs 2010-11-16

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