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应用材料公司拓展RFPVD技术至22纳米晶体管触点制造
近日,应用材料公司拓展了其Applied Endura Avenir RF PVD系统的应用组合,实现了镍铂合金(NiPt)的沉积,将晶体管触点的制造扩展至...
应用材料
RFPVD
2011-03-28
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