光栅位移

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1 光栅位移传感器测量原理将光源、两块长光栅(指示光栅和标尺光栅)、光电检测器件等组合在一起构成的光栅传感器通常称为光栅尺。当两块光栅以微小倾角重叠时，在与光...

光栅位移传感器 CPLD 2007-11-18

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