制造装备

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　　日前，我国《中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020)》确定的16个科技重大专项之一——被称为“02专项&rdq...

中芯制造装备 2011-03-08

　　国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(以下简称“02专项”)日前在京举行了成果发布会。在这个长期受到国外垄断的领域...

中芯国际制造装备 2011-03-07

　　日前，省教育厅、财政厅联合下发《关于下达2010年高校科技成果孵化及高新技术产业推广项目经费指标的通知》，“江苏省集成电路制造设备工程技术研究开...

集成电路制造装备 2010-12-30

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