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热对流式双轴加速度传感器及其在消费类电子产品中的应用
以半导体技术和微机电加工工艺设计、制造的mems传感器,因其集成度高,并可与信号处理电路集成在一起,从而大大降低了生产成本,已经在汽车、消费和通信电子领域得到了...
传感器
热对流
双轴加速
2007-08-21
热对流式双轴加速度传感器及其在消费类电子产品中的应用
以半导体技术和微机电加工工艺设计、制造的mems传感器,因其集成度高,并可与信号处理电路集成在一起,从而大大降低了生产成本,已经在汽车、消费和通信电子领域得到了...
传感器
双轴加速
cmos
2007-06-28
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