工艺技术

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据路透社最新消息，包括美国IBM公司、新加坡特许半导体公司和韩国三星电子公...

32纳米工艺技术芯片制造商 2007-05-28

摘要：综合介绍目前无线通讯产品中使用的各种类型RF-MEMS器件，统一说明RF-MEMS器件的基本工作原理，并分析RF-MEMS器件加工的关键工艺技术及设计制作...

射频器件；微电子机械系统；RF-MEMS；工艺技术 2006-09-11

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