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北方微电子等离子刻蚀系统中标两项目
近日,北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司佳音频传,继高密度等离子刻蚀机中标国家集成电路先导工艺研发项目后,ELEDE 330高密度等离子ICP刻...
北方微电子
等离子刻蚀系统
2011-02-18
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