钨平坦化技术

首页 >钨平坦化技术

　　应用材料公司6月20日宣布，成功的Applied Reflexion　GT CMP1系统工艺已经扩展，增加钨薄膜平坦化工艺。该CMP工艺对于制造先进的动态随...

应用材料钨平坦化技术 2011-06-24

在线研讨会

焦点