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KLA-Tencor推出先进晶圆检测系统

作者:佚名  时间:2005-10-13 15:53  来源:本站原创
KLA-Tencor 公司推出的 Puma 9000 晶圆检测系统为瑕疵管理需求的完整范围树立了全新的效能标准。通过将高度模块化和可扩充的架构与KLA-Tencor创新的暗视野成像Streak技术加以结合,在生产能力方面可以获得最高的关键缺陷撷取。不仅解决了新的瑕疵问题,同时也在65nm与45nm节点方面获得了满意的效果。

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