Altatech Semiconductor获德国科研机构CVD设备订单

　　Altatech Semiconductor获得了一份多功能AltaCVD平台订单，该订单来自德国慕尼黑Fraunhofer Research Institution。该200mm AltaCVD系统可用于等离子体增强CVD工艺，也可用于低于气压的CVD工艺，Fraunhofer中心将用该设备在硅晶圆和SOI晶圆上淀积介质层。