据了解，MEMS、纳米技术和半导体市场领先的晶圆键合和光刻设备供应商EVGroup(EVG)在SEMICONChina2011展会期间宣布，公司新客户沈阳硅基科技有限公司订购了一台EVG850LT自动键合系统用于SOI晶圆制造。这家中美合资公司将采用EVG850LT来实现SOI晶圆的大规模量产，该设备已在2010年9月出货。
据沈阳硅基科技有限公司总裁海凤涛介绍，公司选择EVG的晶圆键合设备是由于EVG850设备在吞吐量和良率方面的良好表现。“我们已经开始大规模量产SOI晶圆，对EVG系统印象非常深。EVG是SOI键合设备市场的领导者，采用他们的设备将帮助我们更顺利地将研发成果转为大规模生产，同时确保客户所购买的晶圆是由业界标准的SOI键合系统制造而得。”