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半导体设备特别是光刻机技术难度很大，它对整个国家的工业基础要求非常高，对国家创新能力及技术水平的提高作用很大，因此国家发展半导体设备装备产业的决策非常正确。但...

上海微电子 IC 半导体 2008-01-17

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