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国产65nm大角度离子注入机进入晶圆生产线
由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际(北京)集成电路制造有限公司,开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工...
中科信
离子注入机
2010-11-26
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