离子注入机

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　　由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际(北京)集成电路制造有限公司，开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工...

中科信离子注入机 2010-11-26

离子注入机 300mm晶圆 2010-11-23

　　9月底，日本日新离子机株式会社与扬州经济技术开发区签订了合作协议。日新株式会社将在扬州经济技术开发区投资兴建离子注入机设备生产厂。这是日新首个在日本国土外设...

日新离子注入机 2010-10-08

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