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“环保是日本半导体行业所面临的最重要课题之一”。日本电子信息技术产业协会(JEITA)半导体小组会议组长东芝执行专务室町正志在“绿色IT国际论坛”(2008年5月29日)表示。室町以东芝大分工厂和索尼半导体九州的鹿儿岛工厂构建“环保型工厂”计划为中心,介绍了日本半导体行业在环境保护方面所作的努力。
室町指出,日本构建环保工厂的目的是要达到三个目标。第一,在1990~2010年的20年内使CO2排量削减35%。第二,在1995~2010年的15年内使导致温室效应的全氟化合物(PFC:PerFluoro Compound)减排10%。第三,实现废弃资源的100%再利用。
削减半导体工厂的CO2排量
作为旨在实现上述目标的具体事例,室町介绍了东芝大分工厂和索尼半导体九州的鹿儿岛工厂为削减CO2排量而进行的努力。东芝大分工厂通过在空调中将加湿器代之以纯水的自然蒸发,以及用废热加热纯水等,使CO2排量削减了2%。而索尼半导体九州的鹿儿岛工厂通过采用索尼自己定制的高能效变频器和马达,以及将冷却水输送系统一分为二等,使CO2排量削减了17%。
此外,室町还介绍了NEDO(新能源产业技术综合开发机构)补助事业——从含氟化合物中提取无水HF(氢氟酸)技术的开发成果。该技术尝试利用含氟化合物生成半导体制造中大量使用的HF,以抑制温室气体排放。
英特尔和AMD也在绿色IT论坛上发表热情洋溢的演讲
绿色IT国际论坛对半导体行业寄予了厚望,并企划了“WSC(World Semiconductor Council:世界半导体会议)特别会议”。除室町外,WSC主席——台湾力晶半导体黄崇仁也出席了会议。美国英特尔以及美国Advanced Micro Devices(AMD)等知名LSI厂商的经营层也就绿色IT发表了热情洋溢的演讲。今后,半导体行业的环保问题也将为众所瞩目。