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IMEC宣布第一个300mm晶圆兼容定向组装工艺生产线

作者:  时间:2012-02-14 19:10  来源:电子产品世界

  IMEC宣布成功研发出世界上第一个300毫米晶圆相容的定向自组装(DSA)的工艺生产线。与美国威斯康星大学,安智电子材料和东京电子IMEC的DSA合作目的,以解决关键的障碍,实现从学术DSA合作实验室规模到大批量制造环境的升级。

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