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台积电28nm制程有望今年Q4小批量试产

作者:  时间:2011-09-08 17:25  来源:电子产品世界

  台积电公司领导林本坚近日表示,公司规划的28纳米制程最快可望在今年第4季度小批量生产,并预估产量将在明年扩大。

  林本坚表示,28纳米制程采用多重曝影(multi patterning)的浸润式(immersion)微影技术,并且公司正在进行20纳米技术的研发,未来14纳米将尝试导入极紫外光(EUV)或多重电子束 (MEB)等新技术,台积电目前已加入Sematech,针对20纳米以下半导体制程的相关技术进行合作研发。

  事实上,台积电董事长张忠谋早先就曾透露,台积电正紧密观察移动终端的市场变化,如今智能手机、平板电脑等产品逐渐向轻薄、低耗能发展已是明显趋势,公司在进军市场与持续稳健成长上皆需要仰仗28纳米制程。

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