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>光电位置传感器
PSD 光电位置传感器的实现及SOI 结构研究
摘要: 分析了高灵敏度光电位置传感器(PSD)的设计和工艺制作过程,给出了器件制作工艺流程。对制作的器件进行了参数测试,测试结果为:响应波长为600~1200n...
光电位置传感器
电极
灵敏度
位置分辨率
工艺
线性度
SOI
2006-11-25
1
在线研讨会
焦点